מאיזה חומר עשויים פרוסות סיליקון?
Mar 13, 2024
פרוסות סיליקון עשויות מחומר סיליקון קריסטל יחיד. סיליקון מונו-גבישי הוא חומר סיליקון בטוהר גבוה עם שלמות ועקביות של מבנה הגביש. זהו אחד מחומרי המצע הנפוצים ביותר בתעשיית המוליכים למחצה לייצור מעגלים משולבים (ICs) והתקני מוליכים למחצה אחרים.
סיליקון גביש יחיד גדל בטמפרטורות גבוהות באמצעות שיטות כגון שקיעת אדים כימית (CVD) או שיטת סיליקון יחיד גביש צף. בתהליך זה, חומר הסיליקון גדל כגביש יחיד ויוצר מטיל סיליקון. מטיל הסיליקון עובר שלבי חיתוך, פילוס, ליטוש ועוד שלבי תהליך, ולבסוף נעשה פרוסת סיליקון שטוחה בעובי מסוים.
לפרוסות סיליקון תכונות חשמליות ומכניות מצוינות, מוליכות תרמית טובה, עמידות גבוהה בפני קורוזיה כימית ותכונות אופטיות טובות. זה הופך את פרוסות הסיליקון לחומר מצע אידיאלי לייצור התקני מוליכים למחצה והתקנים אופטואלקטרוניים. הגודל של פרוסות סיליקון מתואר בדרך כלל במונחים של קוטר. הקטרים הנפוצים כוללים 2 אינץ' (50.8 מ"מ), 4 אינץ' (101.6 מ"מ), 6 אינץ' (152.4 מ"מ), 8 אינץ' (203.2 מ"מ) ו-12 אינץ' (304.8 מ"מ).